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ウエハー自動外観検査装置
オリジナルの高解像度カメラを搭載しており、ウエハーエッジおよびエッジ近傍領域の検査を高精度で実施可能です
300mmウエハーのピンホールを自動的に検査可能です
ウエハー裏面に高輝度ランプ照射を採用することでウエハー裏面の品質制御を可能にします
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