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EPIS

Electrical Picture Inspection System

OHTは回路に流れる電流を可視化することで、欠陥箇所を鮮明に映し出すことに成功しました。

  • マトリックス状に微細な電極を配置した静電容量式のセンサを用いた検査システムです。
  • センシング対象物との静電容量結合によって電圧や静電容量の分布を二次元画像として表示できます。
  • 高分解能、高フレームレート、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高リニアリティを実現しました。
  • プリント基板の検査のほか、さまざまな用途に適用可能なシステムです。
プリント基板のOpen/Short検査適用例

プリント基板のOpen/Short検査の適用例では、プリント基板の配線に電圧をかけセンシングすることで、光学画像検査では見つけにくかった欠陥箇所を鮮明に写し出します。

■スペック

センササイズ 16mm×12mm
ピクセルサイズ 7um×7um
ピクセル数 4Mpix